4月10日，中国有色金属工业协会在连城凯克斯科技有限公司组织专家组对其开发的“碳化硅立式感应合成炉”科技成果进行评价。专家团成员由清华大学张辉教授、郑丽丽教授、浙大科创中心韩学峰研究员、南通罡丰奚龑罡研究员等7人组成，张辉教授任评价组组长。

　　 第三代半导体材料是信息产业、5G 通讯、国防军工等战略领域的核心材料，近年来，国家出台一系列半导体产业鼓励政策，为国内企业提供政策及资金支持，以推动以碳化硅为代表的第三代半导体材料发展。

　　为此，连城数控半导体晶体事业部团队融合了我司在半导体领域的先进技术优势，深耕碳化硅粉料合成技术的研发，开发了目前业内最大的碳化硅粉料合成炉，粉体纯度达到国内一流水平。其团队研发的大尺寸合成炉及其热场，能精确控制轴向温度梯度和径向温度的均匀性，解决了传统的碳化硅粉体合成炉装载量少，得率低等问题，使得反应更加充分，解决了工艺稳定性问题。

　　同时，其设计的独特的坩埚及涂层，减少了坩埚杂质的污染，提升了坩埚的寿命，提高了碳化硅粉体的纯度，通过工艺优化，可以同时兼容合成导电性和半绝缘碳化硅粉体。

　　 此次碳化硅粉体合成炉成果鉴定是连城数控半导体晶体事业部继一季度中标某重点客户190台碳化硅感应炉之后取得的又一次技术上的重大突破。标志着连城数控碳化硅感应炉，电阻炉，管式合成炉，腔体合成炉全系列碳化硅炉开发成功并实现了批量销售。

　　专家一致认为该碳化硅粉料合成设备提升了碳化硅合成粉料的品质，提高了单次合成的重量，降低了单位能耗，减少了制造成本。促进了我国碳化硅高端装备的升级换代。该项目拥有自主知识产权。申报专利十余项。整体技术达到国际领先水平。