长沙晚报7月1日讯（全媒体记者 徐运源 通讯员 张星）6月30日，2023上海国际半导体展览会持续进行，世界各地1100多家半导体制造领域的设备及材料厂集中“亮绝活”，来自长沙的中国电子科技集团公司第四十八研究所（以下简称“中国电科48所”）携自主研发的集成电路、第三代半导体等领域关键核心专用设备亮相。作为本届展会的一大亮点，该所率先发布自主研制、用于生产碳化硅外延片的国产8英寸碳化硅外延设备，标志着国产第三代半导体专用核心装备迈进“8英寸时代”。
8英寸碳化硅外延设备上线验证
碳化硅作为第三代半导体材料，具有耐高温、高电压、高频率、高功率等优良性能，被广泛应用于电力、通信、光电、新能源等领域。其中，碳化硅外延片是制作碳化硅电力电子器件的关键材料。相较于此前生产的6英寸外延设备，此次发布的8英寸碳化硅外延设备生产出的外延片边缘损耗更小、可利用面积更大。
“外延设备迈进‘8英寸时代’一直是产业聚焦的热点之一。成熟的8英寸碳化硅技术将有效解决6英寸碳化硅晶圆芯片产出数量少、边缘浪费过大的问题，单片晶圆芯片产出提高90%，单位芯片成本可降低近50%。”中国电科48所党委书记王平介绍。
记者了解到，中国电科48所围绕产业链降本增效的有效路径，聚焦国内第三代半导体产业发展的需要，提前布局，率先开展8英寸碳化硅外延设备关键技术攻关，先后解决了衬底易开裂、外延层厚度均匀性难控制等问题，满足了大尺寸、高质量外延生长需求，实现了外延装备从6英寸到8英寸的技术迭代，目前该设备已在国内头部企业上线验证。
串珠成链，形成碳化硅整线集成解决方案
凭借“装备+工艺+服务”的核心优势，中国电科48所的“朋友圈”不断扩大，在6英寸碳化硅外延机型方面，创造了国内第三代半导体装备行业的第一大订单；碳化硅高温离子注入机国内市场占有率第一……
“我们的目标是‘串珠成链、以线带面’，成为国内唯一具备提供碳化硅整线集成解决方案能力的单位。”王平表示，长沙正在打造全球研发中心城市，身为“国家队”，肩扛“国家责”，中国电科48所将持续加强核心关键技术突破，以产业链重点环节的补链固链强链为己任，积极开展产业链协同创新，加快推进国家半导体装备产业集聚区建设，为打造全球研发中心城市贡献“装备力量”。