在6英寸车规级碳化硅晶圆制造无尘车间内，设备上绿色、黄色灯光闪烁，工作人员看一眼就知道设备处于生产还是闲置状态；几名设备工程师正在调试新装设备，冲刺扩产；“天车”沿着无尘车间屋顶的轨道悬垂于空中往返穿梭，调试与机器人“搭档”搬运芯片，将实现机台到机台的全自动无人化搬运；无尘车间外的办公室内，工程师坐在电脑前通过设备共享屏幕远程监控设备状况，“千里眼”明察秋毫，指尖轻点键盘即可随时远程处理各种状况……

　　新年伊始，位于广州南沙的国内最大专注于车规级碳化硅芯片制造企业芯粤能厂内一派热火朝天的生产景象。


　　图为6英寸碳化硅平面MOSFET晶圆；当前，以碳化硅为代表的半导体已成为全球半导体技术和产业新的竞争焦点；然而，全球碳化硅功率器件市场长期由海外巨头垄断，现阶段我国宽禁带半导体国产化率较低，市场需求量较大。

　　作为广东“强芯工程”重大项目，芯粤能今年正加速一期产能爬坡，年底实现年产24万片6英寸车规级碳化硅芯片的规划产能。芯粤能项目达产后将极大缓解当前国产车规级碳化硅芯片紧缺的现状，成为全球领先的车规级碳化硅功率半导体制造企业之一，解决碳化硅芯片“卡脖子”问题，奠定中国碳化硅功率器件领域的领先地位。

　　探秘无尘车间：高速气流让工作人员“一尘不染”

　　近日，记者来到芯粤能无尘车间，跟随芯粤能晶圆厂厂长邵永华“探秘”。


　　车间内24小时维持无尘状态，恒温恒湿，四季如春，“寸土寸金”。进入无尘车间的人员“武装”到牙齿，洁净服、头套、手套齐备，全身只有眼睛露在外面，再经过长长的通道才能进入车间。邵永华指着通道顶部告诉记者：“通道上空不断向下吹淋高速气流，工作人员经过时，身上微小的尘埃粒子会被吹走，确保进入无尘车间时符合生产的洁净度要求。”

　　车间内，最引人瞩目的是矗立在地面的一排排设备和屋顶穿梭运行的一辆辆“天车”。“‘天车’系统是我们自动搬运系统的一部分。我们是国内首家采用该系统的6英寸碳化硅晶圆厂。调试成功后，‘天车’将与机台机器人配合，实现车间内材料的全自动无人化搬运，既提高效率，又降低差错。”邵永华说：“高端制造智能化是趋势，工程师不需要一直待在车间，在办公室就可以通过设备共享屏幕实时监控设备状况，并发出指令远程操控设备。”

　　记者看到，设备上有红色、黄色、绿色的不同灯光闪烁。“这是自动监测系统，绿灯代表正常生产，黄色代表休整闲置，红色代表异常可能，需要工作人员来看一下。”据邵永华介绍，在整个车间内，全自动检测系统无处不在，尤其是针对产能性能的检测，跟随着产品的每一个环节，循环多次检测，确保产品性能和良率：“目前我们出厂的芯片性能、良率达到了国际先进水平，国际主流碳化硅公司研发的产品均可以在我们的平台量产。”

　　记者看到，无尘车间内工作人员穿着蓝色、白色、灰色等不同颜色的洁净服，灰色服装的设备调试工程师，正在对多台新引进的设备进行调试。“整个工厂正在扩产爬坡，今年年底实现年产24万片6英寸车规级碳化硅芯片的规划产能。预留的8英寸产线就在6英寸产线隔壁，建成后将具备年产24万片8英寸车规级碳化硅芯片的能力。”邵永华介绍。

　　打造“芯航母”：助力广东建成集成电路第三极

　　在广州市、南沙区大力支持下，芯粤能15个月即建成投产，建设速度在业内罕见。无尘车间2022年11月正式启用，目前已经实现月产1万片产能。车规级和工控级芯片成功流片并送样，车规认证完成在即。截至目前，芯粤能已与40多家客户签约流片，覆盖全国绝大部分碳化硅芯片设计企业，良率和一致性备受认可。


　　近年来，南沙引进培育了芯粤能、芯聚能、晶科电子、联晶智能、南砂晶圆等一批行业龙头企业，初步形成覆盖半导体和集成电路设计、制造、封装测试、设备材料的产业链。南沙积极建设宽禁带半导体设计、制造和封测基地，打造粤港澳大湾区宽禁带半导体产业生态圈，为未来产业发展注入强“芯”剂。

　　作为扎根南沙的企业，芯粤能董事长肖国伟认为，南沙地处粤港澳大湾区地理几何中心、毗邻港澳，区位优势明显，产业集聚方面有巨大的应用市场优势。“广深已有多家芯片设计公司落地集聚，随着碳化硅应用市场不断拓展延伸，未来会有更多碳化硅芯片设计和应用开发公司前来落地扎根，产业集聚效应日益突显。”尤其是“南沙方案”发布以来，面向高科技企业形成可执行可落地的政策，南沙区也出台了多项科技专项扶持政策，鼓励以企业为主体推动关键核心技术攻关，推动企业与科研机构联合科技创新，更给企业发展提供了源源不断的强大动能，吸引了越来越多企业聚集南沙。

　　展望2024年，芯粤能将启动一期产能爬坡，年底实现年产24万片6英寸碳化硅芯片的规划产能。芯粤能项目达产后将极大缓解当前国产车规级碳化硅芯片紧缺的现状，成为全球领先的车规级碳化硅功率半导体制造企业之一。

　　一个碳化硅航母级企业将崛起在湾区之心。芯粤能志在赋能全球电力应用，成为碳化硅领域值得信赖的“芯航母”。随着项目达产，将带动碳化硅衬底材料、芯片制造、模块封装到新能源汽车应用的国产化产业链建设，推动建设大湾区宽禁带半导体和新能源汽车的产业生态，助力广东建成集成电路第三极，奠定中国碳化硅功率器件领域的领先地位。

　　关键词

　　芯粤能

　　芯粤能碳化硅芯片制造项目是广东“强芯工程”重大项目，项目总投资额为75亿元，将建成年产24万片6英寸和24万片8英寸碳化硅晶圆芯片的生产能力。